厚みのある導波路が示す顕著な特質は、その異常な分散特性と高い損傷耐性閾値にあります。これらの特性は、統合量子通信や、パルスレーザーを用いた導波路におけるスーパーコンティニューム生成、連続波レーザーからフェムト秒パルスを生成するマイクロ共振器の利用など、非線形光学応用において極めて重要です。
高いパワー閾値は、LIDARのようなアプリケーションにおいて導波路を通じてワット級のパワーを伝達可能にします。また、可視光領域での透明性は、シリコンナイトライド平面光子回路をマイクロフルイディクスやバイオセンシングの分野において魅力的な選択肢とします。
最初に、AN技術と名付けられたこの技術は、ナイトライド導波路内に90%以上のモードが保持されることに由来します。
この高いモード閉じ込めは、以下のような複数の利点を提供します:
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- 中赤外線領域での透明窓を3.0 µmまで広げる能力
- 曲げ半径の縮小により、極めてコンパクトなデザインを実現
- 導波路の設計を通じて、非線形及び量子的な選択肢へのアクセスを可能にする
- 高いパワーレベルでの操作を可能にし、伝播損失を低減
AN技術は、光学応用のために特別に設計された二つのモジュラープロセスで提供されています。